小型壓力傳感器的感應元件是半導體薄膜，它主要由單晶硅和多晶硅制作而成。典型的電容式傳感器結構由上下電極、絕緣體和襯底所組成。當薄膜受壓力作用時，它會發生形變，這就導致上下電極之間的距離緊跟著發生變化,從而使電容發生變化。但電容的變化與上下電極之間的距離呈非線性關系。

 

小型壓力傳感器應用：

小型壓力傳感器主要應用在加速度、壓力和力等的測量中。小型壓力傳感器是一種常用的加速度計。它具有結構簡單、體積小、重量輕、使用壽命長等優異的特點。壓電式加速度傳感器在飛機、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動和沖擊測量中已經得到了廣泛的應用,特別是航空和宇航領域中更有它的特殊地位。小型壓力傳感器也可以用來測量發動機內部燃燒壓力的測量與真空度的測量。也可以用于軍事工業,例如用它來測量槍炮子彈在膛中擊發的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力。它既可以用來測量大的壓力,也可以用來測量微小的壓力。小型壓力傳感器也廣泛應用在生物醫學測量中,比如說心室導管式微音器就是由壓電傳感器制成的,因為測量動態壓力是如此普遍,所以壓電傳感器的應用就非常廣泛工作電壓及功率因型號不同而有所不同。